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        角分辨光譜測量的測試結果能力的分辨
        點擊次數:18439 發布時間:2018/12/19 10:50:37

          角分辨光譜測量的測試結果能力的分辨
          
          角分辨光譜測量儀是用于探測具備“角度依賴(angle-resolved)”特性物體的光學測量儀器。為了驗證他的準確性,我們采用標準樣品進行檢驗。

          SiO2鍍膜Si基底樣品是一種具有典型“角度依賴”反射率特性的樣品,可以作為一種常見的標準樣品,常常用來檢光譜型測橢偏儀的性能。因此,我們采用了單層膜結構的鍍膜樣品作為驗證的標樣。
          
          測試結果證明實用R1測試單層膜的P波和S波與理論計算結果吻合。
          
          單層膜樣品的光譜反射率理論計算簡單,實際測量中,測試系統要求具備寬譜段覆蓋范圍(紫外到近紅外);方便的偏振態控制;背反射(0度角);高精度的角度控制等要求。以往情況,用戶需要采用昂貴的光譜型橢偏儀實現,現在可以采用R1可以輕松的實現這些功能。
          
          角分辨光譜測量的典型應用領域:
          
          角分辨光譜測量的樣品在不同偏振態具有不同光譜特性,需要光譜測量系統具有各偏振的分辨能力。
          
          薄膜光譜樣品具有能帶結構,呈現光譜的各向異性,需要光譜測試系統具有精確的角度區分能力。
          
          SPP/SPR表面等離子體具有敏感的光譜和角度依賴,需要光譜測試系統具有寬泛的光譜測量波段,和精確的角度分辨能力。
          
          高集成度
          
          可滿足多模式、全角度、寬譜段的角分辨光譜測試需求,具有超高性價比
          
          良好的擴展性
          
          適配多波段偏振器件、濾光片等光學元件,可加載旋轉調節支架,方便調節
          
          自由調節樣品臺
          
          五維精密調節樣品臺,能夠對樣品實現各種維度的精確調節
          
          

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